Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии. Игорь Житяев и др.
- Тип: Текст
- Авторы:
- Издательство: Южный Федеральный Университет(2019)
- ISBN: 9785927523955, 978-5-04-153027-3
- Страниц: 123
- Язык: Русский
125 руб.
Отложить
- Жанры: Учебники и пособия для вузов
- Теги:
- Описание
- Фрагмент
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.
Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
