Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники. Светлана Козубняк и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана(2016)
- Год написания: 2013
- ISBN: 978-5-7038-3729-0
- Страниц: 69
- Язык: Русский
118 руб.
Отложить
- Жанры: Учебники и пособия для вузов, Электроника, Приборостроение
- Теги:
- Описание
- Фрагмент
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
