Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения. Игорь Житяев и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: Южный Федеральный Университет(2020)
- ISBN: 978-5-9275-3097-7, 978-5-04-234583-8
- Страниц: 98
- Язык: Русский
125 руб.
Отложить
- Жанры: Учебники и пособия для вузов
- Описание
- Фрагмент
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, изготовления суперконденсаторов, матричных острийных структур, супергидрофобных и супергидрофильных поверхностей. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
