Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ-электронике (лабораторные работы). Ю. В. Колковский и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: Техносфера(2019)
- Год написания: 2017
- ISBN: 978-5-94836-471-1, 978-5-04-154200-9
- Страниц: 97
- Язык: Русский
299 руб.
Отложить
- Описание
- Фрагмент
Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу «Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ-электроники». В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ-электроники. Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.
