Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники. А. П. Достанко и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: Издательский дом “Белорусская наука”(2017)
- Год написания: 2016
- ISBN: 978-985-08-1993-2, 978-5-04-063762-1
- Страниц: 253
- Язык: Русский
621 руб.
Отложить
- Жанры: Электроника, Учебники и пособия для вузов
- Теги:
- Описание
- Фрагмент
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
