Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 2. Александр Величко и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: Новосибирский государственный технический университет(2018)
- Год написания: 2014
- ISBN: 978-5-7782-2534-3, 978-5-04-113045-9
- Страниц: 227
- Язык: Русский
- Жанры: Учебники и пособия для вузов
- Описание
- Фрагмент
Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов электронной спектроскопии, микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных материалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов, обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».
