Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Аскер Кушхов и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: МИСиС(2018)
- Год написания: 2008
- Страниц: 15
- Язык: Русский
588 руб.
Отложить
- Описание
- Фрагмент
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии.
