Главная / Категории / Наука, Образование / Техническая литература

Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы. Аскер Кушхов и др.

В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении.

Рады Вам также предложить