Основы процессов получения легированных оксидных пленок методами золь-гель технологии и анодного окисления. Л. П. Милешко и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: Южный Федеральный Университет(2020)
- ISBN: 978-5-9275-3182-0, 978-5-04-234580-7
- Страниц: 154
- Язык: Русский
198 руб.
Отложить
- Жанры: Учебники и пособия для вузов
- Описание
- Фрагмент
Междисциплинарное учебное пособие, предназначенное для факультативного изучения студентами магистратуры, обучающимися по направлениям подготовки «Техносферная безопасность», «Нанотехнологии и микросистемная техника» и «Конструирование и технология электронных средств». Рассмотрены основные закономерности образования, свойства и примеры использования золь-гель‒пленок легированных лантаноидами на планарных подложках и в мезоскопических порах пористого кремния, пористого анодного оксида алюминия и синтетических опалов, а также легированных фосфором или бором анодных оксидных пленок кремния, карбида кремния, нитрида кремния и легированных хлором ‒ меди (I).
