Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии. Учебник для бакалавриата и магистратуры. А. С. Сигов и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: ЮРАЙТ(2016)
- Серия: Университеты России
- Год написания: 2016
- ISBN: 978-5-9916-7153-8, 978-5-04-029342-1
- Страниц: 270
- Язык: Русский
- Описание
- Фрагмент
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) – электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и «Электронные приборы», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
