Зондовые нанотехнологии в электронике. В. К. Неволин
- Тип: Текст PDF
- Автор:
- Издательство: Техносфера(2014)
- Серия: Мир электроники
- Год написания: 2014
- ISBN: 978-5-94836-382-0, 978-5-457-61809-1
- Страниц: 175
- Язык: Русский
- Жанры: Электроника, Техническая литература
- Теги:
- Описание
- Фрагмент
Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология. В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения. Предназначена для студентов старших курсов, аспирантов и молодых ученых, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии ХХI века.