Физические основы вакуумной техники. Александр Василевский и др.
- Тип: Текст PDF
- Авторы:
- Издательство: Новосибирский государственный технический университет(2018)
- Год написания: 2014
- ISBN: 978-5-7782-2424-7, 978-5-04-112698-8
- Страниц: 84
- Язык: Русский
110 руб.
Отложить
- Жанры: Учебники и пособия для вузов
- Описание
- Фрагмент
Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.
